原理
対象物に写り込んだスリット照明をカメラで撮影し、照明の歪みから面の形状である曲率を算出しカラー表示します。
本手法はAFM(原⼦間⼒顕微鏡)で使用されている「光てこの原理」と同様で、形状を光学的に増幅する効果があるため、一般的な3D計測機に比べ⾼精度に計測できる特徴があります。
曲率
曲率とは曲がり具合を表す量で、局所的な変化ほど大きな値となる特徴があります。
右のグラフはどちらも同じ物を計測した結果です。
変位では認識困難な微小な面歪ですが、曲率では顕著化され一目瞭然です。
計測事例
プレス成型の⾦型は、繰り返し使用することで摩耗するため定期的な補修が必要です。しかし、高さ数十μmの加工量を正確に計測する手段がないため、熟練工は感覚に頼って仕上げ加工を⾏っています。
近年この技術継承が課題となっており、誰でも簡単に形状を計測できる⽅法の確⽴が求められていました。
計測結果より縦方向に筋状の曲率変化が確認できます。
この部分を拡大し、簡易変位機能で形状を算出すると約5μm程度の形状変化が発生していることが確認できます。
このような微小な凹凸が計測できているのは、「光てこの原理」を用いて光学的に形状の変化量を増幅したためです。
本装置を用いることで、誰でも簡単に高精度計測が可能となり、技術継承問題が解決すると考えております。