面歪スキャニングセンサLINE STRIPERの応用事例です。
標準型のLINE STRIPERは、いろいろな工程や現場で計測ができるように三脚に固定して使用します。また、持ち運びを考慮し、計測範囲もW300×H400mmとコンパクトにしています。しかし、お客様の中には、対象ワークのサイズや、設置環境がうまくかみ合わない場合もあります。そのようなお客様のご要望を満足させるため、オーダーメイドでのカスタマイズ対応を行っています。ここでは、カスタマイズ対応の中でも代表的な事例をご紹介いたします。

併せて、様々な対象物での計測事例を紹介した資料をダウンロードできるようにしていますので、ぜひご覧になってください。

■大型ワークの計測に

標準型LINE STRIPERの計測範囲よりももっと大きなワークの計測を行いたいというお客様のご要望に合わせてカスタマイズした事例です。
駆動系のカスタマイズにより、W1000xH1000mmの計測を実現しました。
分割して計測したデータは、自動的に結合して全面の計測データとしています。
装置は、外乱光の影響を無くすため、また安全対策のため、全面を黒色アルミパネルで覆っています。

数μmオーダーの微小歪を計測しようとした場合、レーザー変位計を用いるのが一般的です。レーザー変位計は非常に高精度に計測ができる反面、スポット径がφ100～200μmと小さいため、広範囲の計測を行うとなると時間がかかりすぎ実用的ではありません。
これに対し本装置は、標準型 LINE STRIPER 同様、光てこの原理で歪を増幅して計測するため、数μmオーダーの微小歪を広範囲にわたって一度に計測することが可能です。
動画の中では、W1000xH500mmのSUSパネルを25秒という高速で計測しています。

■開発製品、試作品の計測試験に1台！計測試験機に

お客様の中には、フィルムのような薄膜製品の表面歪みを計測したいというご要望もあります。このような場面では、対象ワークを定盤のような平らな台の上に設置して計測するのが効率的です。この事例では、LINE STRIPERの計測ヘッドを三脚から取り外し、アルミフレームで組んだ架台に計測ヘッドを固定し、下向きに計測できるようにしました。

■標準仕様では計測できない凹凸計測に

LINE STRIPERはスキャン方向と垂直に交わる凹凸を計測します。

計測ヘッドを垂直方向に移動させることで、水平スキャンでは計測できない方向の凹凸計測が可能となります。

応用事例と併せて、様々な対象物での計測事例を紹介した 『LINE STRIPER 応用事例集』をダウンロードできます。