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光てこの原理

光てこの原理

光てこの原理

光てこの原理とは、計測面の傾きによる光軸の微小なブレ量を、検出器上に拡大投影して検出する方法です。

上記の図のように、反射光のブレの量を光の反射角の変化として検出することで、長さや角度の微小変化を計測することができます。

この原理自体はオプチメータと呼ばれる変位計などに古くから使用されてきたものでしたが、昨今の加工技術の発達によって、原子間力顕微鏡(AFM)にも利用されるようになりました。

八光オートメーションは光てこの原理を応用し、数μm程度の非常に小さな面ひずみを検出するための製品を開発・提供しております。

 

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