面歪スキャニングセンサ LINE STRIPER を応用した「大面積パネル歪検査装置」

面歪スキャニングセンサ LINE STRIPER の応用事例です。
標準型のLINE STRIPERの計測範囲はW300xH400mmですが、もっと大きな対象物でも計測できるように駆動系をカスタマイズし、W1000xH1000mmの計測を実現しました。
分割して計測したデータは、自動的に結合して全面の計測データとしています。
装置は、外乱光の影響を無くすため、また安全対策のため、全面を黒色アルミパネルで覆っています。

数μmオーダーの微小歪を計測しようとした場合、レーザー変位計を用いるのが一般的です。レーザー変位計は非常に高精度に計測ができる反面、スポット径がφ100~200μmと小さいため、広範囲の計測を行うとなると時間がかかりすぎ実用的ではありません。
これに対し本装置は、標準型 LINE STRIPER 同様、光てこの原理で歪を増幅して計測するため、数μmオーダーの微小歪を広範囲にわたって一度に計測することが可能です。
動画の中では、W1000xH500mmのSUSパネルを25秒という高速で計測しています。

事例のように、弊社ではお客様のご要望に応じ、柔軟なカスタム対応を行っております。

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