液晶パネルを構成するガラス基板と防塵ガラスの間の異物を検査する装置です。微分干渉観察装置という特殊な光学系にて実現しています。異物には、黒色や白色以外に透明なもの(気泡等)があり、黒色や白色異物であれば一般的な光学系でも検出ができますが、透明体は検出が困難です。そこで本装置は、”微分干渉観察装置”という特殊な光学系を採用することにより、透明体の検出を可能としています。また、高倍率な光学系と、オリジナルのノイズ除去フィルター処理により、最小5μmの異物が検出できます。