光てこ原理を応用した金属板打痕計測事例

 

面歪スキャニングセンサ LINE STRIPERを使用した、金属板の打痕計測事例です。一般的なパターン投影型の3D計測機では、数μm~数十μmオーダーの微小歪を計測することは困難です。LINE STRIPERは独自に開発したMR法(Mesh Reflection)にて歪を計測します。対象物にスリット照明を映し込み、照明の歪み量から曲率を算出します。本手法は、AFM(原子間力顕微鏡)などで使用されている、光てこの原理で歪を増幅して計測するため、パターン投影型の3D計測機に比べ高精度に計測が可能です。

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