マイクロ波の干渉法を応用した厚み測定装置

マイクロ波の干渉法を応用した厚み測定装置です。
非金属の対象物にマイクロ波を送信すると、対象物の表面で反射したマイクロ波と、対象物を透過し裏面から反射したマイクロ波とが受信できます。表面と裏面から反射したマイクロ波は互いに干渉し受信波形に変化が現れます。この干渉による波形の変化を解析することにより、対象物の厚さを計測することが可能です。

特徴

対象物表面と裏面からの反射波の干渉を利用する為、マイクロ波送信アンテナから対象物までの距離が変化しても計測される厚みは変化しません。
→機械的な設置が非常に容易です。
対象物は、非金属であれば透明体でも色が付いていても測定が可能です。
※対象物内部に空洞や亀裂がある場合、マイクロ波は対象物表面、裏面、及び空洞や亀裂から反射されます。このことを応用して、内部欠陥検出装置として使用することも可能です。

スペック

  • 計測可能厚み:20mm~100mm
  • 計測分解能:10μm
  • 計測精度:±40μm

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