技術紹介TECHNOLOGY

INSPECTION
検査

ウェハース焦げ検査装置

チョコレート用ウェハースの焦げを検査する装置です。カラーラインスキャンCCDカメラを使用し、特定色成分を抽出することにより、焦げ以外に内部の異物等も同時に検出が可能です。
なお、オーブンで焼き上がったウェハースを搬送中に検査することにより、リアルタイム画像処理を実現しています。

ウェハース焦げ検査装置の検査画面

液晶ゴミ検査装置

液晶パネルを構成するガラス基板と防塵ガラスの間の異物を検査する装置です。微分干渉観察装置という特殊な光学系にて実現しています。異物には、黒色や白色以外に透明なもの(気泡等)があり、黒色や白色異物であれば一般的な光学系でも検出ができますが、透明体は検出が困難です。そこで本装置は、”微分干渉観察装置”という特殊な光学系を採用することにより、透明体の検出を可能としています。また、高倍率な光学系と、オリジナルのノイズ除去フィルター処理により、最小5μmの異物が検出できます。

液晶ゴミ検査装置の検査画面

ダンボール箱文字認識装置

ダンボール箱表面に、インクジェットプリンターにより印字された文字(ロット番号)を画像処理にて読み取り、製品のトレーサビリティを管理する装置です。
画像処理には、CCDカメラ一体型の汎用画像処理装置を採用し、コンパクトなシステム構成としています。

ダンボール箱文字認識装置の検査画面

ワイヤーボンド検査装置

半導体デバイスの製造工程では欠かせないワイヤーボンディング工程後に、画像処理によりボンディングの具合を検査する装置です。
検査項目は、ボール形状(真円度)の評価、ボンディングパッドからのはみ出し具合の評価、ボンディングワイヤーの直線性の評価等多岐にわたりますが、それぞれ最良な画像が撮影できるよう、同軸落射照明とサイズの異なる2種類の反射照明とを自動で切り替える機能を持っています。
また、レーザー変位計を使用することでボンディングワイヤーの高さ方向の評価にも対応しており、早期の不具合検出やボンディングマシーンの調整の良否確認に威力を発揮します。

装置概要

ワイヤーボンド検査装置の装置概要

本装置はワイヤーボンディング後のボール、リード、ワイヤーの形状検査を行うものです。ワイヤーボンディングの直後に検査を行うことで、早期に不具合を検出します。
また、ボンダー調整の良否確認用として使用することで、調整の際に出る不良品の数量低減に効果があります。

検査事例

ボール検査

ボール検査

同軸照明により、ボール形状を撮影。
サーチしたエッジ座標から楕円近似し、その楕円の主軸長、副軸長より真円度を求めます。

ボール位置計測

ボール位置計測

ボンディングパッドとボールの位置を計測し、ボール中心ズレ、パッドからのはみ出しを検査します。
緑色:ボール外周エッジ、及び近似楕円
水色:ボンディングパッド外周及び中心座標(レシピ設定より)

インナーリード側圧痕形状検査

インナーリード側圧痕形状検査

サイド照明により、インナーリード側圧痕を撮影。
リードのサーチ、形状計測で、圧着状態の検査を行います。

ワイヤー直線度計測

ワイヤー直線度計測

エッジサーチによりワイヤーのラインを抽出します。
抽出したラインについて外接矩形を求め、その長辺と短辺の比率から直線度を求め、ワイヤーの湾曲を検査します。

配線パターン検査

配線パターン検査

ブロブ解析により、断線の検査を行います。
また、ワイヤー検出により配線パターンを判断することが可能であるため、予め正規の配線パターンを登録し、比較することで、配線パターンの検査を行います。

のり枚数検査装置

原理

のり枚数検査装置の解説図

マイクロ波を使用した、のりの枚数を検査する装置です。
味付け海苔はその表面に調味料が付けられているため、複数枚が一体化することが多く画像処理等での枚数計測が困難です。
一方、マイクロ波は味付け海苔を透過して厚さ情報を位相情報へと変換します。従って複数枚が一体化していても、積層される海苔の厚さは変化しないため、枚数計測が可能となります。

システム構成

のり枚数検査装置のシステム構成

上部のアンテナからマイクロ波を放射し、下部のアンテナで受信します。
検査対象を透過することで生じる位相差の情報を、位相検出装置を通して検査用パソコンに取り込み、枚数に換算し検査を行います。

検査例

のり枚数検査装置の検査例

木材節検査装置

マイクロ波を応用した木材内部の節を検出する装置です。
マイクロ波が誘電体を透過する場合、誘電体内では速度(波長)が変化します。 速度の変化に伴い、マイクロ波の位相も変化します。木材にマイクロ波を透過させた場合、木材と異なる誘電率を持つ節では位相が変化するため、目には見えない木材内部の節を検出することが可能となります。

木材節検査装置の解説図01

木材にマイクロ波を透過させた場合、木材と異なる誘電率を持つ節では位相が変化します。
このことを利用し、目には見えない木材内部の節を検出することが可能です。

木材節検査装置の解説図02
HALCON インテグレーションパートナー

弊社は、(株)リンクスとビジネスパートナー契約を結んでおり、世界最高レベルの画像処理ソフトウェアHALCONを用いた高性能な画像処理システムをスピーディーに構築・開発・提供致します。